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沉积和蚀刻过程的成功取决于所使用的前体化学物质的特性，因此该领域的许多创新都围绕开发新的前体。可能的配体的空间很大，太大，无法在实验室中系统地探索。因此，只要可以快速，准确地计算相关属性，该区域就已经成熟了计算筛选和设计。我们讨论了可量化的筛选指标。例如，良好的前体应显示宽温度窗口以进行输送和沉积，这可能与反应性和稳定性有关，而反应性和稳定性可以在分子尺度上在一定程度上计算出来。我们通过对热稳定性和氮化物形成的锆前体进行计算筛选来说明这些点。
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