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虽然氦气MS泄漏检测系统对小于10 -11 STD CC/sec的泄漏率敏感,但商业真空密封件仅因小于10 -10 STD CC/sec的泄漏率而获得认证。在这些情况下,可实现的敏感性与所报道的灵敏度之间的差异并不是由于存在较小的可测量泄漏(<10 -11 std cc/sec)。相反,降低的认证是由于难以使用可启用硬件进行可靠的泄漏测试。例如,所有金属焊接接头都可以轻松且可靠地证明泄漏速率低于10-11。对于大多数可启用的vacuum组件而言,这种类型的关节是不切实际的。即使在铜垫圈密封件的情况下,密封的过程不仅太耗时了,而且还会在外观上更改成品零件。

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