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MEMS传感器用于汽车安全气囊系统,电子稳定控制系统和不可锁定的制动系统。这些系统非常安全,需要高质量的控制。该制造业受几种标准管辖,但着陆的主要标准是MIL-STD-883和AEC-Q100-001。这些定义了需要执行可靠性测试并确定结果可接受的限制的方式。此外,研究了金属之间的化合物(IMC)之间的形成,并使用电子扫描显微镜(SEM)来检查关节的形状。协调测量设备(CMM)用于测量关节的位置和大小。
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