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本文报告了基于氮化铝(ALSCN)的设计,制造和实验验证,基于下一代内在计算机中的多重元素(MAC)操作。女性乘数利用ALSCN中的铁电偏振开关改变了压电系数(D 31),促进了神经网络中的权重的非挥发性,模拟记忆存储。然后,使用膜的压电参数来更改电容差距进行读数。在100V V P(5MV/cm)的电压下,铁电薄膜可以部分极化,并达到216 µC/cm 2的峰值残余极化。对光学测量位移的实验结果证实了ALSCN Unimorph乘数的操作。最大共振模式位移线性取决于极化和输入电压。这项工作为在内存计算中利用ALSCN的利用提供了基本见解,开放了用于高速,低功率和高精度计算应用程序的新途径。

底切蚀刻 - 康奈尔纳米级设施

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