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在本文中，我们研究了由溅射技术在低温下沉积的铝薄膜制成的平面微波结构。通过考虑导电线中的停止距离，已经分析了沉积在硅底物上的这些铝传输线中的损耗机制。表明，线的衰减取决于传输线的材料特性和边缘形状。使用低温恒温器系统，使用1-12 GHz频率范围的矢量网络分析仪对结构的两端微波传输测量进行测量。这项工作表明，铝可能是各种应用的潜在候选者，即MKID，并且可以替代其他用于低温应用的常规超导体。此外，可以继续基于硅基板的微带线中停止距离分析，以分析由于传输线的台阶边缘制造而导致的精确损失。然后可以使用此分析来估计损失测量中的不确定性。这项工作将有助于开发各种尖端技术的传输线，包括量子计算，物联网和高速通信系统，其中损失参数起着至关重要的作用。
铝薄膜传输线的低温损失测量
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