—----------------------------------------------------------------------------------------------------- *DEM836 - TÓPICOS ESPECIAIS EM ENGENHARIA MECÂNICA I: PVD ​​(Physical Vapor Deposition) OBJETIVO : Engineer PVD-grown single- or multi-layer surfaces.programa 1薄膜沉积技术2溅射，PVD方法和应用3 PVD技术的高性能应用中的创新技术4 PVD在UFSM 5实验分配BibliografiaBásica•厚和薄膜杂种杂交微型电气，T.K的手册。Gupta（2004）221-243。 https://onlineliribrary-wiley.ez47.periodicos.capes.gov.br/doi/10.1002/0471723673.CH7 CH7在2022年6月24日上加入。 •Modern Surface Technology，M。Nicolaus和M.Schäpers（2006）31-50。 https://onlinelibrary-wiley.ez47.periodicos.capes.gov.br/doi/10.1002/3527608818.CH3访问了2022年6月24日/6月24日。 •表面和界面科学，J。Colligon和V. Vishnyakov（2020）1-55。 https://onlinelibrary-wiley.ez47.periodicos.capes.gov.br/doi/10.1002/9783527822492.CH61 2022年6月24日访问。 •平板显示制造，T。Ohno（2018）209-224。 https://onlinelibrary-wiley.ez47.periodicos.capes.gov.br/doi/10.1002/9781119161387.CH11_02访问24/6月/2022年。 •平板显示制造，M。Bender（2018）225-240。 https://onlinelibrary-wiley.ez47.periodicos.capes.gov.br/doi/10.1002/9781119161387.CH11_03访问24/6月/2022年。 •现代地表技术，K。Bobzin，E。Lugscheider，M。Maes，P。Immich（2006）51-63。 https://onlinelibrary-wiley.ez47.periodicos.capes.gov.br/doi/10.1002/3527608818.CH4 2022年6月24日访问。 •有关该主题的最新出版物，特定于每个实验分配。Gupta（2004）221-243。 https://onlineliribrary-wiley.ez47.periodicos.capes.gov.br/doi/10.1002/0471723673.CH7 CH7在2022年6月24日上加入。•Modern Surface Technology，M。Nicolaus和M.Schäpers（2006）31-50。 https://onlinelibrary-wiley.ez47.periodicos.capes.gov.br/doi/10.1002/3527608818.CH3访问了2022年6月24日/6月24日。•表面和界面科学，J。Colligon和V. Vishnyakov（2020）1-55。 https://onlinelibrary-wiley.ez47.periodicos.capes.gov.br/doi/10.1002/9783527822492.CH61 2022年6月24日访问。•平板显示制造，T。Ohno（2018）209-224。 https://onlinelibrary-wiley.ez47.periodicos.capes.gov.br/doi/10.1002/9781119161387.CH11_02访问24/6月/2022年。•平板显示制造，M。Bender（2018）225-240。 https://onlinelibrary-wiley.ez47.periodicos.capes.gov.br/doi/10.1002/9781119161387.CH11_03访问24/6月/2022年。•现代地表技术，K。Bobzin，E。Lugscheider，M。Maes，P。Immich（2006）51-63。 https://onlinelibrary-wiley.ez47.periodicos.capes.gov.br/doi/10.1002/3527608818.CH4 2022年6月24日访问。•有关该主题的最新出版物，特定于每个实验分配。