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图 1. 50 µm 薄膜上的 Kemlab 徽标和柱子 加工指南 HARE SQ™ 显影剂专为与 HARE SQ™ 负性环氧抗蚀剂配合使用而设计。显影剂可采用浸没、搅拌或喷洒的方式进行。较厚的薄膜在显影步骤中可受益于更新显影剂；例如使用双搅拌。显影过程中轻轻搅拌可提高显影剂更新率并缩短总显影时间。用异丙醇 (IPA) 将显影剂从基材上冲洗掉并晾干。冲洗后出现模糊残留物表明显影不完全。
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