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“Pump Clean”是一种用于保护性能日益提高的化工泵的吸气过滤器。这可防止大型晶圆破裂时产生的晶圆碎片或异物污染对波纹管泵造成的损坏。此外，为了防止传统保护性吸入过滤器中出现的气蚀现象，我们实现了即使在低压差下也能实现大流量的优异流动特性。此外，为了适应 300 毫米晶圆清洁设备管道尺寸的不断增大，可提供 1 英寸和 3/4 英寸配件，并提供公/母配件变体以适应更紧凑的设备。这种全氟树脂过滤器是保护下一代化学泵的理想选择。
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