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“PHI GENESIS”XPS 提供高速、高灵敏度和压倒性的微 XPS 分析性能，具有自动多样品分析和自动样品交换功能。具有改进计数率的高灵敏度分析仪也有助于提高性能。迄今为止，ULVAC-PHI 和 ULVAC-PHI 的子公司 Physical Electronics USA 已经开发出各种世界首创的 XPS 分析技术，包括扫描微 XPS 和 HAXPES（硬 x 射线光电子能谱）、全自动机器人 XPS 分析、全自动绝缘体中和分析、使用集群蚀刻离子枪对有机材料进行深度剖析。所有这些技术都集成到一台仪器中，从而可以为包括金属、半导体、陶瓷和有机材料在内的各种材料提供最先进的 XPS 分析技术。
PHI GENESIS - 表面分析
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