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最近的薄膜锂锂（TFLN）的出现扩展了综合光子学的景观。这是通过TFLN晶圆的商业化和TFLN的高级纳米化来实现的，例如高质量的干蚀刻。但是，制造缺陷仍然将传播损失限制为几个dB/m，严格严格该平台的影响。在这里，我们证明了具有创纪录的内在质量（Q）系数的TFLN微孔子，为2900万，对应于1.3 dB/m的超低传播损失。我们提出了频谱分析和Q因子跨不同谐振几何形状的统计分布。我们的工作推动了TFLN光子学的制造极限，以在材料极限的1个数量级内实现Q因子。©2024中国激光出版社
二九百万个固有的Q-因子整体化...
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