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半导体工业卫生手册的产生是两位主要作者的一项综合努力，保罗·C·曼兹（Paul C. Manz）的重大贡献。保罗提供了化学代理分会的连续气体监测部分。本节对半导体行业通常使用的危险气体的非常重要的监测技术进行了全面综述。主要作者因其贡献而感激不尽。有关化学和物理代理的章节中的信息主要基于关注半强制行业的期刊的发表论文。戴夫·鲍德温（Dave Baldwin）是该小组的几篇主要论文的主要作者。尽管提供了一些有关危害控制的信息，但这些章节的主要重点是危害识别。另一章是由迈克·威廉姆斯（Mike Williams）在通风方面生成的。从工业卫生的角度来看，使用大量空气再循环进行制造区域的污染控制可能既是帮助又是阻碍。本章详细介绍了通风控制危险控制及其与通风的关系，以进行污染物控制。这本书的范围扩大了，包括不针对半导体行业的较新的工业卫生问题：人格工程学，室内空气质量，个人保护设备，计划审查和记录保留。虽然这些章节中的许多信息都可以应用于所有行业，但重点和方向是在半导体行业如何解决这些问题。
半导体工业卫生手册
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