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样品持有人的主要任务是将样品保持在稳定的位置。它也可以配备功能单元,例如加热器或液体腔室。扫描头用于固定悬臂并将其移到样品上。通常,压电驱动器用作精确的电动机,在X和Y方向上扫描样品。z方向上的运动通常也由压电电动机执行。1扫描头最重要的部分是尖端,该尖端位于小悬臂末端。悬臂大约只有头发宽(0.1毫米),通常由硅或氮化硅制成(Si 3 N 4)。尖端本身通常具有4-30 nm的半径(见图2 a)。四季度光电二极管用作从悬臂背面反射的激光的检测单元(见图2 b)。
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