I.引言已经开发了许多用于沉积高质量YBCO薄膜[1]的技术[1],例如真空蒸发,激光消融,化学蒸气沉积,磁控溅射[2,3]等对高温超导膜沉积的发展和理解在很大程度上有助于在低温电信设备中应用,例如低通滤波器,延迟线和微波通信的天线,并生产在数字电路和鱿鱼中有用的Josephson连接。所有技术和应用都将取决于大型薄膜廉价生产的成功。尤其是越野膜的生长,多层人士仍然是一个非常复杂的事情。由于存在几种固有的物质问题,例如短相干长度,各向异性,低临界电流密度和化学计量学,因此该过程变得复杂。同样,在薄膜中,元素从底物扩散到膜到膜以及相邻层是多层结构中的另一个问题。
主要关键词