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摘要 薄膜技术因其多种工业用途而具有吸引力，正在工程学、化学、物理学和材料科学等许多领域得到研究。近年来，随着可再生能源的开发前景，薄膜市场，尤其是光伏领域的研究得到了显著发展，薄膜市场迅速增长。然而，这并不排除其他领域，如半导体集成电路、保护、光学或简单的装饰涂层。上面没有提到的一个领域是新兴的能量收集领域，即捕获和积累来自环境中可用的替代能源的所有能量；第一步是寻找能够将环境能量转换为电能的设备。多年来，人们一直在研究实现这种转换的一种可能的解决方案，那就是压电薄膜，本论文的主题就是压电薄膜的实现和一些初步测量。所采用的技术是生产薄膜最通用的技术之一，即在反应环境中的磁控管配置中进行溅射，该技术快速且能适应各种要求，以获得具有所需特性的薄膜。沉积的压电材料是铝基板上的氮化铝。
压电材料薄膜的制备及...
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