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高精度微定位执行器可快速交付
专为光学对准、精密自动化和研究应用而设计
来源:RoboticsTomorrow News专为光学对准、精密自动化和研究应用而设计
对于需要亚微米精度的应用,PI 的 L-220 系列线性执行器以紧凑的设计提供可靠、高精度的运动。精选型号专为光学、光子学、半导体测试、计量和显微镜领域的高要求任务而设计,交货时间短,可支持快速系统集成。
PI 的电动高分辨率执行器在紧凑的外形中将精度和力量结合在一起。它们的行程范围为 13 至 77 毫米(½ 英寸至 3 英寸),进给力高达 125 N,支持广泛的应用。其低间隙和非旋转、线性引导尖端最大限度地减少了倾斜和偏心引起的误差,这与低成本、旋转尖端型执行器一样常见,从而确保精确、可重复的运动。
L-220 执行器配备闭环直流伺服或步进电机,速度高达 3.5 毫米/秒,最小增量运动低至 0.1 微米。执行器具有自锁功能,无需连续供电即可提供高保持力以实现位置稳定性。
真空额定型号
L-220 线性执行器还可用于高达 10-6 hPa 的真空环境和洁净室应用。
应用
L-220 微定位执行器在全球范围内使用(从半导体工厂到光学实验室),可提供精确的运动、可重复的 100 nm 步长和高可靠性。凭借快速可用性,它们使设计工程师能够快速响应新的项目要求并保持竞争优势。
服务行业
半导体、光学、激光加工、光子学、医疗技术
更多信息:L-220 高分辨率线性执行器
