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带有无摩擦轴承的XY旋转阶段的比40mm高
唯一的单模块3轴精确运动平台
来源:RoboticsTomorrow News唯一的单模块3轴精确运动平台
Auburn，马萨诸塞州 - Pi（Physik Instrumente），Pik（Physik Instrumente）是精确运动控制的领导者，它引入了A-361空气XY旋转阶段，这是一种紧凑型纳米置平台，该平台设计为高精度和稳定性，可在苛刻的研究和工业应用中进行超高精度和稳定性。
超低轮廓3轴纳米定位阶段小于40mm高
A-361 XY旋转阶段将仅39.5mm的异常低调与大量的200mm直径运动平台相结合。它在X和Y中提供5mm的翻译运动，以及围绕2°Z轴的旋转运动。
应用程序
A-361 Piglide Xy-Theta阶段特别适合晶片检查，平板显示器计量，光纤和光学对齐，无掩模的光刻和µLED制造。它的干净，非接触设计，结合了超高的稳定性和分辨率，使其成为半导体和光子生产环境的引人注目的解决方案。
无摩擦轴承设计，超高稳定性的锁定机制
A-361凭借其无摩擦的空气轴承和非接触电动机确保了平稳的运动，无需磨损，几乎可以在几十年内衡量的维持寿命。集成的位置锁定进一步增强了稳定性，消除了在关键测量和对齐任务中的伺服抖动。内置的真空Chuck可容纳晶圆或其他精致的底物，使舞台非常适合半导体和光学应用。
无摩擦直接驱动器，高动力学
语音线圈直接驱动器提供无摩擦，高度动态的响应，产生高达6n的连续力和19.2n峰。尽管A-361具有紧凑的占地面积，但具有高达3公斤的有效载荷，其轻量级设计具有硬化铝制构造，可确保稳定性和耐用性。
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