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World File Search System光刻
基于射频应用的Parylene-Electronic束光刻过程
高等教育技术研究所（I.S.T），高等教育和科学研究部，IADIAMBOLA AMPASAMPITO，PO BOX 8122，ANTANANARIVO 101，马达加斯加b物理学和数学工程的实验室（Madagascar b La and of Ensight and Mathimatical of Ensighon and Novernation and the Enviration） - la r r'1177 rue tue du o r'117 rue， -la r´eunion，法国
通过光学和纳米图形光刻
摘要：氧化锆（ZRO 2）是一种良好且有前途的材料，由于其出色的化学和物理特性。在用于腐蚀保护层，磨损和氧化的涂料中，在光学应用（镜像，滤波器）中用于装饰组件，用于反伪造的解决方案和医疗应用。ZRO 2可以使用不同的沉积方法（例如物理蒸气沉积（PVD）或化学蒸气沉积（CVD））作为薄膜获得。这些技术是掌握的，但由于固有特性（高熔点，机械和耐化学性），它们不允许对这些涂层进行微纳米结构。本文描述的一种替代方法是Sol-Gel方法，该方法允许使用光学或纳米图形印刷术的无物理或化学蚀刻过程的ZRO 2层进行直接微纳米结构。在本文中，作者提出了一种完整且合适的ZRO 2 SOL-GEL方法，允许通过光学或纳米IMPRINT光刻来实现复杂的微纳米结构，以实现不同性质和形状的基材（尤其是非平面和箔材料的底物）。通过掩盖，胶体光刻和玻璃和塑料底物以及平面和弯曲的底物，通过掩盖，胶体光刻和纳米图光刻来呈现ZRO 2 Sol-Gel的合成以及微纳米结构过程。
在200/300 mm飞行员线环境中，水溶性生物源抗DUV光刻
壳聚糖是由114批量的Mahtani壳聚糖提供的，其乙酰化度（DA）为2％，由1 H NMR确定，质量平均摩尔质量（m w）为619 kg/mol，分散剂（ð）的分散剂（1.6），由尺寸 - 1.6，通过尺寸 - 散发性切除率确定。壳聚糖以1、2-丙二醇和ACOH（50/50 V/V）的水醇混合物中的0.5％（w/v）以0.5％（w/v）的形式进行乙酰基壳。在剧烈的机械搅拌下将壳聚糖（GLCN）单位的静态藻类添加到D-葡萄糖（GLCN）单元中，并混合18小时以达到靶向DA。然后将壳溶液通过纤维素膜过滤，孔径从3 µm降低至0.45 µm。乙酰化的壳聚糖最终用NH 4 OH沉淀，用去离子水洗涤并冷冻干燥。乙酰化的壳聚糖，DA为35％，M W的693 kDa和1.8的分散性。
新型深紫外微型 LED 阵列推动无掩模光刻技术发展
光刻技术在集成电路芯片制造中发挥着至关重要的作用，是半导体和微电子工业的关键核心技术之一。20世纪90年代以来，低成本、高分辨率无掩模光刻系统成为先进光刻技术研究的热点。然而，该项前沿技术的专利主要掌握在欧洲、美国、日本和韩国手中，技术壁垒较高。
用于传感器的激光刻划石墨烯
传感器被广泛用于获取生物和环境信息，以用于医学诊断、健康和环境监测。石墨烯是一种很有前途的新型传感器材料，近年来在传感器制作中得到了广泛的应用。与许多其他现有的石墨烯制备方法相比，激光划片石墨烯（LSG）简单、低成本、环境友好、导电性好、热稳定性高，在传感器领域得到了广泛的应用。本文总结了现有的用于传感器制作的LSG方法。首先介绍了主要的LSG制备方法及其变体，然后总结了专门为传感器制作而设计的LSG改性方法。随后，总结了LSG在应力、生物、气体、温度和湿度传感器中的应用，特别关注多功能集成传感器。最后，讨论了基于LSG的传感器当前面临的挑战和前景。
对重建晶片的光刻处理的模具对齐
该实验的结果证明了Liteq 500工具在置换和旋转中检测，测量和纠正大偏移的能力，在与当前工业标准保持一致的同时，提供了亚微米的准确性。分析表明，可以通过优化对齐过程来实现吞吐量的重大改进。计划进行其他实验，以验证覆盖性能，并在Liteq 500上使用重建晶片进行叠加诊断的能力。初步估计表明，当覆盖要求不太严格时，可以实现更快的吞吐量。在未来的工作中，我们计划研究当前FO-WLP过程中所需的覆盖精度级别可实现的吞吐量。
环氧基光刻胶薄膜纳米复合材料与碳包覆 Cu@C 纳米粒子的优异介电性能
C. L APEYRONIE 1*，MS A LFONSO 1，B. VIALA 2，J.-H. T ORTAI 1 1 格勒诺布尔阿尔卑斯大学、CNRS、CEA/LETI-Minatec、格勒诺布尔 INP、格勒诺布尔阿尔卑斯大学工程与管理学院、LTM、格勒诺布尔 F-38054、法国 2 格勒诺布尔阿尔卑斯大学、CEA、LETI、38000 格勒诺布尔、法国
壳聚糖作为 DUV 光刻的水基光刻胶
作为纳米加工的主要工艺，DUV 光刻通常需要在光刻胶配方、溶剂和显影剂中使用大量有毒化学品。在此背景下，提出了替代当前石油衍生光刻胶的化学品，以减少对环境的影响。壳聚糖是一种生物源光刻胶，通过用绿色溶剂（去离子 (DI) 水）替代，可实现不含有机溶剂和碱性显影剂的水基图案化工艺。本文介绍了使用壳聚糖基光刻胶进行图案化集成的最后一个分步过程。使用 CEA-Leti 的 300 毫米中试线规模的初步结果显示，图案分辨率低至 800 nm，同时等离子蚀刻转移到 Si 基板中。最后，通过生命周期分析 (LCA) 对基于壳聚糖光刻胶的整个工艺的环境影响进行了评估，并将其与传统的基于溶剂的工艺进行了比较。关键词：光刻、光刻胶、生物源、壳聚糖、水基、半导体、可持续性、LCA
Vasil Penchev。量子信息保守性及其解释为“可区分性 /无法区分性”和“ CLA < / div>），“少两个位” < / div> 实验性时间域研究，用于带LILL形状微带电路的带通负面组延迟分析 量子力学的数量和量子信息的数量 聚苯乙烯薄膜通过UV飞秒激光束进行纳米结构：从一个斑点到大表面 ESC的心脏细胞生物学工作组：心血管研究的位置纸：组织工程策略与细胞疗法相结合的缺血性心脏病和心力衰竭 通过动态空间过滤向损坏的脑电图中的强大学习 基于射频应用的Parylene-Electronic束光刻过程的有机掺杂二极管整流器
摘要：与基于可分离的复杂希尔伯特空间的“经典”量子力学相比，该论文研究了量子信息后量子不可分性的理解。相应地“可区分性 /无法区分性”和“古典 /量子”的两个反对意义在量子不可区分性的概念中隐含可用，可以解释为两个经典信息的两个“缺失”位，这些信息将在量子信息传递后添加，以恢复初始状态。对量子不可区分性的新理解与古典（Maxwell-Boltzmann）与量子（Fermi-Dirac或Bose-Einstein）统计的区别有关。后者可以推广到波函数类（“空”量子量），并在希尔伯特算术中详尽地表示，因此可以与数学基础相连，更确切地与命题逻辑和设置理论的相互关系相互关联，共享了布尔代数和两种抗发码的结构。关键词：Bose-Einstein统计，Fermi-Dirac统计，Hilbert Arithmetic，Maxwell-Boltzmann统计，Qubit Hilbert Space，量子不可区分性，量子信息保存，Teleportation
碳涂层对锂离子微生物阳极的光刻结构的SI纳米线的性能
生物多样性保护长期以来一直被认为是一种全球商品，那些最不能力承担成本1的人不应为此支付，其成功依赖于改善当地生计的人2。概述反映了这一信念。，尽管政策和言辞，但几乎没有证据表明保护区对当地社区的福利（尤其是在全球南方）的福利持续了净积极影响。尽管在国家和全球量表3上与受保护区相关的生物多样性和气候结果的奖学金存在相对较少的奖学金。在此问题上，三本全球合成论文4 - 6，提出了不确定的结果，并在证据基础中揭示了方法论弱点：Pullin等。4确定了一系列可能影响的途径，但很少发现严格的证据。 Kandel等。6发现了积极结果的证据，但报道说，更高质量的研究和非洲的研究较少识别积极影响。和Naidoo等。5发现保护区与人类福祉之间存在正相关 - 但是，这种关联对较长的保护区更为负面，作者无法建立因果关系。这些全球综合文件并不排除受益于当地人民的保护区的可能性，但证据的性质排除了公司的结论。缺乏明显的益处是因为许多案例研究表明了负面影响和侵犯人权1、7，并且由于保护区通常位于贫困高的地区8。在30年的时间里，我们自己在马达加斯加的工作表明，保护区可以承担大量的地方成本，他们无法补偿7、9（方框1）。