摘要:高纵横比硅微纳米结构在微电子、微机电系统、传感器、热电材料、电池阳极、太阳能电池、光子装置和 X 射线光学等多种应用领域中具有技术相关性。微加工通常通过反应离子干法蚀刻和基于 KOH 的湿法蚀刻来实现,金属辅助化学蚀刻(MacEtch)作为一种新型蚀刻技术正在兴起,它允许在纳米级特征尺寸中实现巨大的纵横比。到目前为止,文献中缺少对 MacEtch 的专门综述,既考虑了基本原理,也考虑了 X 射线光学应用。本综述旨在提供全面的总结,包括:(i)基本机制;(ii)在垂直于 <100> Si 基底的方向上进行均匀蚀刻的基础和作用;(iii)用 MacEtch 制造的几个 X 射线光学元件示例,例如线光栅、圆形光栅阵列、菲涅尔区板和其他 X 射线透镜; (iv) 吸收光栅完整制造的材料和方法以及在基于 X 射线光栅的干涉测量中的应用;以及 (v) X 射线光学制造的未来前景。本综述为研究人员和工程师提供了对 MacEtch 作为 X 射线光学制造新技术的原理和应用的广泛和最新的理解。
能够实时记录生理信号并提供适当治疗的高性能可穿戴和植入设备在个性化医疗改革中发挥着关键作用。然而,刚性无机设备与柔软有机人体组织之间的机械和生化不匹配会造成严重问题,包括皮肤刺激、组织损伤、信噪比降低以及使用时间有限。因此,人们投入了大量研究精力,通过使用灵活、可拉伸的设备设计和软材料来克服这些问题。在这里,我们总结了软生物电子学的最新代表性研究和技术进展,包括可变形和可拉伸的设备设计、各种类型的软电子材料以及表面涂层和处理方法。我们还重点介绍了这些策略在新兴软可穿戴和植入设备中的应用。我们最后总结了目前的一些局限性,并对这一蓬勃发展的领域的未来前景进行了展望。
只有当你有正当理由缺席考试(比如生病、家人去世、交通事故等)时,才可以补考期中考试 1 和 2。如遇生病或紧急情况,你必须提供支持性正式文件。另外需要注意的是,补考将以期末考试的形式进行,涵盖所有科目。 III. 延迟提交政策 延迟提交的试卷将不予评分。小测验和家庭作业/作业不予补考。错过作业和小测验将导致成绩为零 (0)。 IV. 参与 在他们的《成人学生生存与成功指南》一书中,Al Siebert 和 Mary Karr 建议最有效的学习方法是通过提问和回答问题来学习。养成阅读教科书、做笔记和通过提问和回答问题学习的习惯。当你这样做时,你可以节省很多学习时间,并有时间与家人或朋友共度。提出和回答问题有多种方法。
毫米级、大面积均匀半导体器件分层用于物理故障分析和质量控制 Pawel Nowakowski*、Mary Ray、Paul Fischione EA Fischione Instruments,Export,宾夕法尼亚州,美国* 通讯作者:p_nowakowski@fischione.com 不断发展的微电子设备设计越来越复杂、越来越紧凑和越来越小。这些设计可能包括越来越多的层、三维 (3D) 垂直堆叠、气隙和不同的材料成分。大批量半导体器件制造需要强大的质量控制和故障分析过程。过去几十年来,已经开发出了许多故障分析技术,包括非破坏性和破坏性技术 [1-3]。一种非常流行的技术是器件分层,即从上到下控制地去除器件层。通过这种技术获得的信息可以支持质量控制、故障分析工作、成品和工艺改进数据以及逆向工程。
单电子控制的基本概念:添加单个电子之前和之后的导电岛(a)。添加单个未补偿的电子电荷会产生电场 E,这可能会阻止添加以下电子。基于单电子转移的设备:a) 单电子盒:这是一种基于单电子转移的电子设备。图 (a) 显示了概念上最简单的设备,即“单电子盒”。该设备仅由一个小岛组成,小岛与较大的电极(“电子源”)之间通过隧道屏障隔开。可以使用另一个电极(“栅极”)将外部电场施加到岛上,该电极与岛之间通过较厚的绝缘体隔开,这不允许明显的隧穿。该场改变了岛的电化学电位,从而决定了电子隧穿的条件。图 (b) 显示了特定的几何结构,其中“外部电荷” Q e = C 0 U 可以很容易地可视化,(c) 显示了“库仑阶梯”,即平均电荷 Q = -ne 对栅极电压的阶梯式依赖性,适用于几个温度值。栅极电压 U 的增加会吸引越来越多的电子进入岛。电子通过低透明度屏障的传输的离散性必然使这种增加呈阶梯状。
载流子倍增因子的特性是设计坚固可靠的功率半导体器件以及评估其对地面宇宙辐射引起故障的敏感性的关键问题。本文提出了一种低温恒温装置,以将使用来自 Am 241 放射源的软伽马辐射的非侵入式电荷谱技术应用于广泛的 Si 和 SiC 器件。本文提供了一种关系,将液氮温度下测得的倍增因子转换为环境温度下测得的倍增因子。本文提出了一种专用的模拟方案,将 TCAD 和 Monte Carlo 工具结合起来,以预测收集到的电荷的光谱并定位倍增因子的热点。最后,在强调了电荷倍增因子与地面宇宙辐射下的功率器件故障率之间的相关性之后,建议将本技术作为评估安全操作区的补充方法。
信息以汇总格式呈现,而操作(现场经验、可靠性演示和设备检查)和寿命测试数据则以详细格式呈现。数字详细数据出版物的数据由可靠性分析中心从政府和行业报告中收集、提炼和缩减,以便提供客观信息以供一般使用。
拓扑绝缘体 (TI) 因其独特的物理特性和广阔的应用前景而在光子学和声学领域引起了广泛关注。由于电子学在构建复杂拓扑结构方面具有优势,它最近成为研究各种拓扑现象的一个令人兴奋的领域。在这里,我们利用标准的互补金属氧化物半导体技术在集成电路 (IC) 平台上探索 TI。基于 Su–Schrieffer–Heeger 模型,我们设计了一个完全集成的拓扑电路链,该电路链使用多个电容耦合电感电容谐振器。我们对其物理布局进行了全面的布局后模拟,以观察和评估显着的拓扑特征。我们的结果证明了拓扑边缘状态的存在以及边缘状态对各种缺陷的显着鲁棒性。我们的工作展示了使用 IC 技术研究 TI 的可行性和前景,为未来在可扩展 IC 平台上探索大规模拓扑电子学铺平了道路。
“在我们的受控实验室实验中,我们模拟了一个湍流的自由空间量子通道,以评估我们的自适应光学系统的有效性。结果令人震惊,”博士学位Lukas Scarfe说。“没有自适应光学,湍流引入了超过安全阈值的错误,使量子密钥分布变得不可能。但是,通过启用了自适应光学功能,我们成功恢复了通道,执行高维QKD并每个光子最多三个位编码,这显着提高了关键的生成率。”
量化的电磁波(称为光子)对于基本物理效应(例如热辐射或光的自发发射)是中心的。光子之间的量子相干性证实了量子力学的最惊人的预测。这也彻底改变了密码学和高精度感测。该课程的目的是发展基本理论,并在强调量子技术中应用光子与材料的相互作用的深度知识。