Chaoyu Song 1,2 ,, Fanjie Wang 1,2 ,, Yuangang Xie 1,2 ,, Yuchen Lei 1,2 ,, Zhengzong Sun 3* ,
随着对电子设备成本更低、性能更好、尺寸更小、可持续性更强的需求,微机电系统 (MEMS) 换能器成为受益于小型化的主要下一代技术候选之一 [1-3]。压电 MEMS 谐振器具有高品质因数和大机电耦合度,是射频 (RF) 系统中很有前途的产品 [4-8]。压电 MEMS 谐振器的主要材料是氮化铝 (AlN)、压电陶瓷 (PZT)、氧化锌 (ZnO) 和铌酸锂 (LN) [9-13]。近年来,掺杂 AlN 薄膜,尤其是氮化铝钪 (AlScN),因其能提高 d 33 和 d 31 压电系数而备受研究 [14]。基于AlN和AlScN薄膜的压电MEMS谐振器凭借单片集成度高、性能优越等特点,受到越来越多的关注。MEMS谐振器种类繁多,如表面声波(SAW)谐振器[15,16]、薄膜体声波谐振器(FBAR)[17-19]。但SAW器件与CMOS工艺不兼容,FBAR的频率主要取决于压电层厚度,因此很难在一个芯片上实现多个工作频率或宽频率可调性。另一方面,基于AlN和AlScN的轮廓模式谐振器(CMR)与CMOS工艺兼容[20-24]。同时,工作频率和谐振频率与CMOS工艺兼容,而基于CMR的器件的工作频率和谐振频率与CMOS工艺不兼容。
在这项工作中,验证了底物退火温度对LA 2 Ti 2 O 7薄膜的厚度和粗糙度的影响。通过脉冲激光沉积技术(PLD)在各种退火温度下成功地在Si(100)底物上生长了一组LTO薄膜,每脉冲的脉冲和能量恒定。扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)用于研究沉积的La 2 Ti 2 O 7薄膜的厚度和粗糙度。由于线性退火温度的升高,薄膜的平均厚度降低。当LTO薄膜在500°C下沉积时,发现最大厚度(231 nm)。均方根粗糙度随着底物温度的升高而线性增加。在LTO以(500°C)沉积时,发现最小粗糙度(0.254 nm)。从获得的结果中,其清晰的证据表明退火温度对LTO薄膜的厚度和粗糙度有影响。关键字
最常见的钨andα-W同质量在约11 mk的温度下具有超导过渡。然而,据报道,当合成为薄膜时,温度范围内具有超导的过渡,在温度范围内t c〜2-5 k:晶体β-W和无定形W(A -W)。在这项工作中,我们对使用DC磁控溅射,运输,低频磁屏蔽响应和透射电子显微镜进行了系统研究。我们的结果表明,虽然A -W确实是常规的超导体,但β-W并不是一个超过2.3 K的超导体。在推定的β -W fif中,具有T c> 3 k的超导能力可能起源于在β-W相下形成的无定形相。我们的发现调和了β -W中报道的一些异常,例如非常小的超导间隙和随着纤维厚度的增加而减少T c。
该协会制定并发布船舶分类规则,其中包含船体结构和基本工程系统的最低要求。在船舶设计、建造和运营期间,该协会经国家主管部门授权,验证船舶是否符合分类要求和适用的国际法规。运输和装卸设备(包括液化天然气货物围护系统)应受第 7 篇第 5 章的管辖。
由于即将进入安慰剂阶段,可靠性降低的风险迫在眉睫。但是,通过调整服药时间表,仍然可以防止避孕保护降低。因此,通过遵循以下两种选择中的任一种,无需采取额外的避孕预防措施,前提是女性在漏服第一片药之前的 7 天内已正确服用所有药片。如果不是这种情况,应建议女性遵循这两个选项中的第一种,并在接下来的 7 天也采取额外的预防措施。1. 女性应在记起时立即服用最后一片漏服的药片,即使这意味着同时服用两片药片。然后,她继续在平常的时间服药,直到所有活性药片都用完。最后一排的 4 片白色药片(安慰剂药片)必须丢弃。必须立即开始服用下一包。使用者不太可能在第二包活性药片用完之前出现撤退性出血,但在服药日她可能会出现点滴出血或突破性出血。 2. 还可能建议女性停止服用当前一盒药片。然后她应停药 4 天,包括漏服药的天数,然后继续服用下一盒药片。如果女性漏服药片,随后在第一个正常的停药间隔内没有出现撤药性出血,则应考虑怀孕的可能性。