光子生物传感器的制造是在 200 毫米绝缘体上硅技术平台上实现的。虽然光子生物传感器是从晶圆顶部构造的,但微流体通道是通过背面释放工艺局部引入的,该工艺结合了干湿蚀刻。对于 760 µ m 厚的硅基板的局部背面蚀刻,采用了深反应离子蚀刻 (DRIE) 工艺和硬掩模,二氧化硅与硅的选择性非常高(SiO2:Si 选择性为 1:200)。这保证了对埋层氧化物 (BOX) 的严格控制。我们选择了 RIE 和湿蚀刻的组合来去除 BOX,因为如果仅使用 RIE,波导结构可能会受损。纯化学湿蚀刻的缺点是由于 BOX 的蚀刻速率低,工艺时间延长。图 1 a 显示了制造的光子传感器芯片。可以在其他地方找到制造过程的全面描述。7 – 9
硅环谐振器调制器(RRMS)具有减少足迹和功耗并增加波长多路复用(WDM)发射器的调制速度的巨大潜力。但是,RRM的光学特性对制造变化高度敏感,这使它们在设计量生产或大量WDM通道方面具有挑战性。在这项工作中,我们提供了一种RRM设计,该设计经过专门设计和实验验证,以降低对制造变化的敏感性。这包括对抗性过度和不足的暴露(±30 nm横向偏差)的敏感性分析以及耦合部分内蚀刻深度变化(±10 nm深度变化)的敏感性分析。对于我们的设计,偏离目标耦合强度的偏差将两倍提高。使用标准的CMOS兼容过程在Soi晶圆上制造了提议的设备。我们演示了以上灭绝比以上的RRM,OMA更好,即-7 dB(2 V pp)和29 GHz的电光带宽,仅在32 GB/s下显示仅受我们的测量设置的开放式眼睛图。测得的耦合系数与模拟值非常吻合。此外,我们应用了相同的设计修改来实现低掺杂的RRM和基于环的添加 - 滴滴 - 磁材(OADMS)。模拟和测量的耦合系数之间的一致性(我们确定为设备性能可变性的主要来源),进一步证实了我们的设计修改的有效性。这些结果表明,可以利用所提出的设计,以大规模地,尤其是在WDM系统中的大规模制造基于谐振的设备。
在集总元件 (LE) 配置中驱动电光调制器可实现较小的占用空间、降低功耗并提高高速性能。传统直线 LE 调制器的主要缺点是需要较高的驱动电压,这是由于其移相器较短所致。为了解决这个问题,我们引入了一种具有蛇形移相器的 Mach-Zehnder 调制器 (M-MZM),它可以在 LE 配置中驱动,同时保持光学移相器长度与行波调制器 (TW-MZM) 相同的数量级。需要考虑的设计限制是设备的光学传输时间,它限制了整体电光带宽。首先,我们回顾了与 TW-MZM 相比 LE 调制器的整体功耗改进以及带宽增强,同时还考虑了驱动器输出阻抗和线或凸块键合的寄生效应。然后,我们报告了使用标准 CMOS 兼容工艺在绝缘体上硅 (SOI) 晶片上制造的基于载流子耗尽的 M-MZM 的设计、实现和实验特性。制造的 M-MZM 具有低掺杂 (W1)、中掺杂 (W2) 和高掺杂 (W3) 结,需要 9.2 V pp、5.5 V pp 和 3.7 V pp 才能完全消光,光插入损耗分别为 5 dB、6.3 dB 和 9.1 dB。对于所有三个 M-MZM,使用 50 Ω 驱动器和终端电阻以 25 Gb/s 记录睁眼图。对于无终端电阻的 M-MZM,可以实现更高的数据速率,前提是将低输出阻抗驱动器通过引线或凸块键合到调制器上。最后,我们将 M-MZM 与 TW-MZM 的功耗进行比较,结果显示 M-MZM 在 25 Gb/s 时功耗降低了 4 倍。
技术活动. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ...
将介绍新卫星可视化和数据融合产品在以下方面的应用:1)金枪鱼、鲭鱼、鱿鱼和马林鱼的渔业研究;2)捕鱼(商业和休闲)和船舶航线的运营预报;3)深水地平线漏油事件(2010 年 4 月至 8 月)期间墨西哥湾的石油 - 分散剂 - 水混合物的测绘。这将包括回顾极地轨道(例如 NOAA 系列、MetOpA、Terra、Aqua、Envisat、Jason、Topex、ERS-2 等)和地球静止卫星(例如 GOES)的光谱、空间、时间分辨率和地理覆盖范围的优势和局限性,以及它们在环境监测和渔业研究中的效用,以及渔业(运营和管理)、海上运输和安全(即搜索和救援)和漏油响应方面的决策。
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由于现代传感器系统的技术改进,飞机、卫星和无人机 (UAV) 等高空飞行平台上生成的数据量不断增加。由此产生的对机载和空间平台更高数据速率的需求推动了过去几年飞机和卫星激光通信终端的发展。德国航空航天中心通信与导航研究所在开发自由空间光学 (FSO) 终端方面有着成功的记录,这些终端可用于飞行平台,如平流层气球、飞机和小型卫星,以便实时将数据从移动平台传输到地面。除了 FSO 的高数据速率和针对射频 (RF) 干扰的安全传输通道等优势外,直接视线也是成功链接的必要条件。传统的 RF 通信更加稳健,受大气干扰或天气条件的影响较小。因此,新的系统概念已经开发出来,以受益于 FSO 提供的高数据速率和 RF 通信技术的可靠性。作为这一趋势的一部分,DLR 已经开发并展示了一种能够克服大气杂散效应的混合 FSO/RF 通信系统。本文概述了 DLR 目前的研究和发展,目标是结合 FSO 和 RF 通信的优势。它讨论了不同平台上可能的实施概念,并介绍了实施的 FSO/RF 混合通信系统在 1Gbps 的机载光学下行链路中的实验结果。关键词:自由空间光学、激光通信、混合链路、高数据速率
现代技术的变化速度要求工程专业进行自我改造。由于新知识的爆炸式增长以及工程对解决许多全球问题的重要性日益增加,因此这将是艰巨的任务。21 世纪的工程师将与 20 世纪的工程师拥有某些共同的基本知识;然而,21 世纪的工程师不太可能认识到其前任所受的教育。甚至语言都不同……想想看:鼠标、芯片、计算机、病毒等等!奥古斯丁先生曾被美国总统授予国家技术奖章,并获得参谋长联席会议杰出公共服务奖。他曾五次获得国防部最高平民勋章——杰出服务奖章。他是《防卫革命》和《莎士比亚当家作主》的合著者,也是《奥古斯丁的法律》和《奥古斯丁的游记》的作者。在《美国名人录》50周年之际,他被《美国名人录》和国会图书馆评选为“50位伟大的美国人”之一。
合作单位 清华大学 北京大学 中国科学技术大学 浙江大学 天津大学 北京理工大学 北京邮电大学 南开大学 长春理工大学 上海理工大学 首都师范大学 华中科技大学 北京交通大学 中国科学院上海光学精密机械研究所 中国科学院半导体研究所 中国科学院光电技术研究所 中国科学院物理研究所 中国科学院上海技术物理研究所 中国仪器仪表学会 光电子技术委员会 COS SPIE-China 委员会 日本光学学会 韩国光学学会 澳大利亚光学学会 新加坡光学学会 欧洲光学学会
EU-SENSE 联盟负责开发一个由固定和可穿戴传感器组成的系统网络,通过实施异构传感器节点(包含不同类型传感器的节点),能够检测大量化学药剂。EU-SENSE 创建了一个统一的数据模型,以保证处理异构数据的网络组件的互操作性。新颖的数据融合算法允许关联和组合来自传感器的数据、环境的机器学习和污染建模,从而显着降低误报率。为了支持在最终用户机构内顺利实施系统、更好地决策和准备紧急情况,EU-SENSE 包括传感器系统的培训模式,以便有效地熟悉设备、实践和应急计划。