国内生产和用途:2024年未从美国的矿石中回收indium。几家公司生产的含合金,化合物,高纯色金属和焊料包括从进口的indium金属中生产的。生产氧化锡(ITO)的生产继续解释大多数全球含量消耗。ITO薄膜涂层主要用于各种平板显示器中的导电目的 - 通常是液晶显示器(LCD)。其他依赖端的用途包括合金和焊料,化合物,电气组件和半导体以及研究。估计的国内乳化剂在2024年为250吨,基于年度估计进口量。没有可用的可用回收或最终用途数据可用于indium。根据美国平均仓库价格,在2024年,精致Iunsed的估计价值约为8500万美元。
我们首次提出了原子中单个单一的自我组装,在簇中(2-6个原子)及其同时的室温稳定稳定锚定在graplene烯中的单个替代si popant上[1]。由于只有少数原子组成的单个原子和原子簇具有不同的物理和化学特性[2,3],因此这些原子结构在固体载体上具有很高的关注,目前吸引了从催化到纳米乳糖的区域中潜在应用的高度关注[4,5]。途径的受控制造和稳定位置仍然很少。在这里,使用定制的制剂室(基本压力〜10 -9 MBAR)将凹入蒸发到悬浮的单层石墨烯(本质上包括一小部分替代的Si杂原子)中,直接耦合到原子分辨率扫描扫描传输透射电子显微镜(STEM)[6]。
太阳能电池是一种光伏装置,它通过吸收半导体中的光生载流子,将太阳能直接转化为电流。太阳能电池主要涉及三个过程:吸收光子产生电荷载流子、分离载流子和收集载流子。半导体材料通常吸收能量大于其带隙的光子。被吸收的光子激发电子从吸收材料中的价带移动到导带,从而产生电子-空穴对。产生的电荷载流子对要么重新组合,要么分离然后收集。吸收的光子取决于吸收材料的厚度和吸收系数。太阳能电池的关键部分是pn结的形成,pn结由两种连接在一起的半导体材料组成,其中一种是n型掺杂的,另一种是p型掺杂的。在CIGS太阳能电池中,各种不同的半导体材料用于形成pn结,因此这种结构称为异质结。使用异质结可以为电池提供宽带隙窗口层,从而减少表面复合。价带和导带
无定形的氧化物半导体晶体管已成为展示面板中的成熟技术,并且最近被认为是用于单片3D应用的有希望的后端兼容通道材料。然而,实现具有与传统晶体半导体相当的性能的高弹性无定形半导体材料一直是一个长期的问题。最近发现,通过原子层沉积(ALD)工艺实现的氧化im氧化物的厚度可以调整其材料特性以实现高迁移率,高驱动电流,高/o效比,并在同一时间超出了传统氧化物半导体材料的功能。在这项工作中,综述了这项工作的历史,导致氧化含量重新出现,其基本材料特性,侧重于ALD的生长技术,最先进的氧化辅助设备研究以及设备的偏置稳定性。
2在能源材料中表征运输现象的方法部,helmholtz-Zentrum柏林材料和Energie GmbH,Hahn-Meitner-Platz 1,14109柏林,德国柏林3席3席部薄膜设备的椅子技术,高效率和半教导机构技术研究所10587柏林,德国4部门能源材料的部门结构和动力学,赫尔姆霍尔茨 - 泽特鲁姆柏林材料和能源GMBH,Hahn-Meitner-Platz 1,14109柏林,德国5号,柏林5柏林5物理与天文学研究所柏林技术大学物理学,Hardenbergstraße,36,10623柏林,德国7 PVCOMB,Helmholtz-Zentrum柏林柏林材料和能量GmbH,Schwarzschildstraße3,12489 Berlin,
在过去的几十年中,互补的金属 - 氧化物 - 氧化 - 氧化核(CMOS)技术一直是现代综合电路发展的推动力。增强栅极静电控制以提高对短通道效应(SCE)的免疫力(尤其是在积极缩放晶体管技术的发展中)的关键策略。这包括开发高等效氧化物厚度(EOT)缩放的高κ /金属门技术,以及超薄体,鳍和堆叠的纳米片通道晶体管;在3 nm技术节点1之外,半导体工业(遵循FIN场效应晶体管技术)目前正在采用堆叠的纳米表晶体管。要进一步扩展长度尺寸并保持良好的驱动电流,至关重要的是抑制SCE。可以使用增加数量的薄堆积通道来实现这一目标。然而,常规半导体晶体管的性能迅速降低到硅的3 nm厚度低于3 nm的厚度,而INGAAS的性能降低了10 nm。二维(2D)半导体是一种替代通道材料,与传统的半导管相比,单层厚度和单层厚度较高,在单层厚度上具有更高的迁移率。但是,2D材料缺乏高品质的大区域CMOS兼容生长技术。也很难在其范德华表面形成介电。此外,这些材料很难浓缩,并且在Schottky金属/半导体触点处引起的高接触分析。特别是原子层氧化物半导体,尤其是无定形im-gallium-Zinc氧化物(Igzo) - 用于平面晶体管(TFTS)中的半导体通道材料(用于平面式式施用应用程序12)。但是,尽管是高批量制造的成熟技术,但氧化物半导体很少被视为用于缩放高性能晶体管的Channel材料。这是由于它们的低电荷载流子迁移率约为10 cm 2 v -1 s –1,并且在质量生产中使用时,它们通常需要多达几十纳米的通道厚度13。然而,对于单一三维(3D)整合应用14-21的CMOS后端(BEOL)中氧化物半导体晶体管的使用引起了兴趣。
理解和优化光活性二维 (2D) 范德华固体的特性对于开发光电子应用至关重要。在这里,我们详细研究了 InSe 基场效应晶体管 (FET) 的层相关光电导行为。使用 λ = 658 nm (1.88 eV) 的连续激光源在 22.8 nW < P < 1.29 μW 的很宽照明功率范围内研究了具有五种不同通道厚度(t,20 nm < t < 100 nm)的 InSe 基 FET。所研究的所有器件都显示出光电门控的特征,然而,我们的研究表明光响应度在很大程度上取决于导电通道的厚度。场效应迁移率 (μ FE ) 值(作为通道厚度 t 的函数)和光响应度 (R) 之间的相关性表明,通常 R 随着 μ FE 的增加(t 降低)而增加,反之亦然。当 t = 20 nm 和 t = 100 nm 时,器件的最大响应度分别为 ~ 7.84 A/W 和 ~ 0.59 A/W。在施加栅极电压的情况下,这些值可能会大幅增加。本文介绍的基于结构-性能相关性的研究表明,可以调整 InSe 基光场效应晶体管的光学性能,以用于与太阳能电池中的光电探测器和/或有源层相关的各种应用。
铟凸点阵列在量子计算中的应用越来越广泛,因为其对共面性和键合线厚度控制以及高质量电气互连的要求非常严格,红外焦平面阵列 (IR FPA) 显示出对更高分辨率的持续追求,这意味着更小的凸点、更高的密度和更大的表面积,最后,消费市场对 µLED 或 Micro LED 的需求越来越大,这意味着细间距铟互连需要更高的吞吐量。
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摘要—本文报告了通过与后端工艺 (BEOL) 兼容的原子层沉积 (ALD) 工艺在鳍片结构和集成电路上涂覆 In 2 O 3 3-D 晶体管的实验演示。通过沟道厚度工程和后沉积退火,实现了具有 113 cm 2 /V · s 高迁移率和 2.5 mA/µ m 高最大漏极电流 (ID) 的高性能平面背栅 In 2 O 3 晶体管。演示了基于 ALD In 2 O 3 的高性能零 V GS 负载反相器,其最大电压增益为 38 V/V,最小电源电压 (V DD ) 低至 0.5 V。还演示了通过栅极绝缘体和沟道半导体的低温 ALD 制备的顶栅氧化铟 (In 2 O 3 ) 晶体管,其 ID 为 570 µ A/µ m,亚阈值斜率 (SS) 低至 84.6 mV/decade。然后演示了具有顶栅结构的 ALD In 2 O 3 3-D Fin 晶体管,其受益于 ALD 的保形沉积能力。这些结果表明,ALD 氧化物半导体和器件具有独特的优势,并且有望实现用于 3-D 集成电路的 BEOL 兼容单片 3-D 集成。