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硅光子微电机电系统在铸造过程中的加载环谐振器
抽象的光子加载量滤波器是在光纤通信系统中实现波长多路复用（WDM）的关键组件。光子整合的最新进展表明，在芯片上将光子附加电源过滤器与高性能光子构建块一起集成的潜力，以构建WDM的紧凑型和复杂的光子积分电路。通常，实现基于具有集成加热器或基于自由载体分散调节器的微环谐振器，以调整滤波器波长。然而，加热器遭受高功耗，自由载体会导致光吸收损失，从而限制了向非常大尺度电路的可扩展性。我们演示了基于垂直移动的MEMS式环共振器的紧凑型加载滤器的设计，仿真，制造和实验表征。在IMEC的ISIPP50G硅光子平台中实现了MEMS驱动的加载滤波器，并使用短的后处理流程实现，以在晶圆级兼容的过程中安全释放悬挂的MEMS结构。滤波器在1557.1 nm处表现出约1 nm（124.37 GHz）的端口宽度，并保留了20 dB的端口灭绝，端口隔离率在驱动电压的27 V下> 50 dB。低功率消耗和紧凑的足迹的组合证明了在光子cirit中非常大规模整合的适用性。©作者。由SPIE在创意共享归因4.0国际许可下出版。[doi：10.1117/1.jom.2.4.044001]全部或部分分发或复制此工作需要完全归因于原始出版物，包括其DOI。
伯克利 Marvell 纳米实验室
多晶硅加速计、安全气囊传感器的基础、静电驱动微电机 IC 处理的压电麦克风 世界上最小（2000 年）栅极长度晶体管（15nm） 第一个 finFET 3D 晶体管之一
扫描镜微光谱仪（SMMS）
在Fraunhofer IPMS开发的新扫描镜微光谱仪（SMMS）平台基于单轴MEMS（微电机械系统）扫描镜。它的目的是在近红外（NIR）光谱中的应用范围为1900 nm，2200 nm或2500 nm的波长。侧重于现场应用，它是一种紧凑且具有成本效益的替代方案，可用于基于线条传感器的基于线路传感器的台式仪器。
微生物
微电机电系统（MEMS）领域传统上以硅微加工为主导。在早期，努力集中于制造各种硅结构，然后开发了相对简单的组件和设备。用于描述这种微机电结构，使用了首字母缩写词。对制造技术（IC）启发的硅晶片和批处理MEMS制造以外的制造技术越来越兴趣在今天的微型系统场中很明显。对替代技术的这种兴趣与使用新的MEMS材料的愿望相比浮出水面，这比依赖于平面光刻学作为定义结构的手段的材料具有更大程度的几何自由。一种这样的新MEMS材料是塑料的，可用于通过微复制来生产低成本的一次性微型发行。微加工领域还从用于生产简单设备的技术到制造复杂的小型化系统的技术成熟并发展，该技术已将缩写词从代表结构转变为微电机械系统。微型系统包括微型系统（微型机电系统，MOEMS），微流体（微流体分析系统，µ -TAS）等。这些系统包含微力组件，包括可移动的镜子和镜头，传感器，光源，泵和阀门以及被动组件，例如光学和化合物波导，以及各种类型的电气组件和电源。
石墨烯涂层极性结构的压电驱动
摘要 - 基于锆钛酸铅（PZT）的铁电材料由于其强大的压电活性而被广泛用作传感器和执行器。然而，由于高处理温度，脆弱性，缺乏共形沉积以及与微电机械系统（MEMS）集成的可能性有限，因此它们的应用受到限制。关于2-D材料中的压电性的最新研究已经证明了它们在这些应用中的潜力，这本质上是由于它们的灵活性和与MEMS的整合性。在这项工作中，我们在无定形的氧化Si 3 N 4膜上沉积了几层石墨烯（FLG），并通过敏感的激光干涉测量法和严格的限定元素建模（FEM）分析研究了它们的压电反应。对FEM进行的模态分析以及与实验结果的比较表明
在24（US OSTP，2.12）的美国核心和新兴技术中的更新
生物特征和相关基础设施，面向能源的能源*∙激光，高功率微波炉，粒子梁高自动自动自动无人驾驶系统，数字基础设施支持，例如机器人和高清图，空调，神经颅超级和推进，空气动力和控制，材料，制造，制造，制造，检测，跟踪，国防综合通信网络技术，下一代无线网络有趣且散布的检测技术量子信息基于量子信息，量子计算，量子设备材料和制造技术，量子传感，量子通信，网络半导体，微电机 - 电子学，互补的金属氧化物半导体技术发射技术的发起人
Vipan Kakkar学校/地址
研究兴趣主要包括基本上在芯片设计领域的应用工程技术。针对复杂芯片设计的研究作品包括超低功率VLSI技术，片上电力电子和控制，超低功率模拟和混合信号设计，微电机械系统（MEMS）设计，实验室芯片和植入设备。在同行评审中发表了几篇研究文章，审查了高影响力期刊和国际会议。撰写了一本关于芯片设计系统的书。ieTe的终身会员，曾是印度IEEE的执行成员。他曾担任一些期刊的编辑委员会成员。评估了瑞士国家科学基金会（SNSF）和瑞士创新局的研究项目。从事几个学术和研发项目，包括与国际组织的合作。学术/研究项目
新的高效稀土微核电池
随着物联网，智能制造和医疗设备的快速发展，对各种应用程序中对微型的，高性能和低功耗的需求不断提高。微电机机械系统（MEMS）是微型设备，它们在显微镜下整合机械和电气组件，通常在1至100微米之间。MEMS已成为一种关键解决方案，从而实现了实时数据监视和反馈，从而增强了系统性能和可靠性。被认为是21世纪的一种变革性技术，MEMS是下一代设备开发不可或缺的一部分。根据Yole Development的市场和技术趋势，MEMS设备的全球市场预计将在2023年至2029年之间经历大幅增长，从136亿美元增加到200亿美元。1这强调了提高有效的MEMS Technolo-