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摘要 - 基于锆钛酸铅（PZT）的铁电材料由于其强大的压电活性而被广泛用作传感器和执行器。然而，由于高处理温度，脆弱性，缺乏共形沉积以及与微电机械系统（MEMS）集成的可能性有限，因此它们的应用受到限制。关于2-D材料中的压电性的最新研究已经证明了它们在这些应用中的潜力，这本质上是由于它们的灵活性和与MEMS的整合性。在这项工作中，我们在无定形的氧化Si 3 N 4膜上沉积了几层石墨烯（FLG），并通过敏感的激光干涉测量法和严格的限定元素建模（FEM）分析研究了它们的压电反应。对FEM进行的模态分析以及与实验结果的比较表明
石墨烯涂层极性结构的压电驱动
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