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随着物联网，智能制造和医疗设备的快速发展，对各种应用程序中对微型的，高性能和低功耗的需求不断提高。微电机机械系统（MEMS）是微型设备，它们在显微镜下整合机械和电气组件，通常在1至100微米之间。MEMS已成为一种关键解决方案，从而实现了实时数据监视和反馈，从而增强了系统性能和可靠性。被认为是21世纪的一种变革性技术，MEMS是下一代设备开发不可或缺的一部分。根据Yole Development的市场和技术趋势，MEMS设备的全球市场预计将在2023年至2029年之间经历大幅增长，从136亿美元增加到200亿美元。1这强调了提高有效的MEMS Technolo-
新的高效稀土微核电池
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