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(ad) 光学、(eh) 顶视图 SEM;(il) AFM 和 (mp) 175 微米蓝宝石上层 ITO 的导电 AFM 图像,底层 Al 2 O 3 缓冲层厚度不同:(a、e、i、m) 0 nm;(b、f、g、n) 20 nm;(c、g、k、o) 40 nm 和 (d、h、l、p) 60 nm。(a) 至 (d) 中的光学图像的比例尺为 100 μm,其他图像 (e) 至 (p) 的比例尺为 300 nm。
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