机构名称：
¥ 4.0
微电机电系统（MEMS）领域传统上以硅微加工为主导。在早期，努力集中于制造各种硅结构，然后开发了相对简单的组件和设备。用于描述这种微机电结构，使用了首字母缩写词。对制造技术（IC）启发的硅晶片和批处理MEMS制造以外的制造技术越来越兴趣在今天的微型系统场中很明显。对替代技术的这种兴趣与使用新的MEMS材料的愿望相比浮出水面，这比依赖于平面光刻学作为定义结构的手段的材料具有更大程度的几何自由。一种这样的新MEMS材料是塑料的，可用于通过微复制来生产低成本的一次性微型发行。微加工领域还从用于生产简单设备的技术到制造复杂的小型化系统的技术成熟并发展，该技术已将缩写词从代表结构转变为微电机械系统。微型系统包括微型系统（微型机电系统，MOEMS），微流体（微流体分析系统，µ -TAS）等。这些系统包含微力组件，包括可移动的镜子和镜头，传感器，光源，泵和阀门以及被动组件，例如光学和化合物波导，以及各种类型的电气组件和电源。
微生物
主要关键词
相关文件推荐
