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致谢：这项工作由奥地利联邦气候行动、环境、能源、交通、创新和技术部以及奥地利联邦数字和经济事务部资助，并由奥地利经济服务局 (aws) 和奥地利研究促进局 (FFG) 在微电子领域欧洲共同利益重要项目 (IPCEI) 框架内实施。微电子领域 IPCEI 还得到了德国、法国、意大利和英国公共机构的资助。
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