机构名称：
¥ 2.0
图 1. 从四种不同样品中以不同摩尔比沉积的 Al x Ti 1-x N 膜获得的窄范围核心级光电子谱 a) Al 2p b) Ti 2p c) N 1s 和 d) O 1s。大多数样品中的碳贡献几乎低于检测限，因此省略了 C 1s 光谱。
通过共蒸发进行 AlxTi1-xN 原子层沉积 ...
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