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a 奥地利维也纳技术大学微电子研究所 Christian Doppler 高性能 TCAD 实验室,Gußhausstraße 27-29, 1040,维也纳,奥地利 b 奥地利维也纳技术大学微电子研究所,Gußhausstraße 27-29, 1040,维也纳,奥地利 c Silvaco Europe Ltd.,Compass Point, St Ives, Cambridge, PE27 5JL,英国

原子层沉积过程中非理想共形性的建模...

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