除了成像模式外,CAFM 还使用光谱模式测量局部电流-电压 (IV) 或电流-力 (IZ) 光谱。为了获得 IV 光谱,停止成像扫描并将尖端保持在固定位置,同时样品偏压上升或下降。绘制通过样品的电流与施加的偏压的关系图(图 3a)。用户可选择的参数包括斜坡的起始和结束电压、斜坡方向、斜坡速率以及各个斜坡之间的延迟时间。该软件可以记录单个光谱或多个光谱的平均值。对于某些测量,最好限制通过样品的电流。在这种情况下,软件为用户提供了一个“触发”选项,一旦达到用户选择的电流值,就会停止电压斜坡。为了获得 IZ 光谱,样品偏压保持不变,而扫描仪沿 Z 方向移动,类似于力-位移曲线的测量。绘制通过样品的电流与扫描仪的 Z 位置的关系图。同样,多个参数允许用户执行和控制特定的 IZ 斜坡实验。