机构名称：
¥ 1.0
电池模块包含三种类型的沉积室。PLD 室使我们能够生长外延阴极和固态电解质，这些电解质可以以择优晶体取向生长，以研究和优化其性能。配备转盘，我们能够依次沉积多达 6 种靶材。PLD 室具有双光束设置，使我们能够同时沉积两个靶材。溅射室可用于沉积金属或氧化物薄膜，特别是含氮电解质（如 LiPON）或阴极涂层，以帮助控制金属从阴极溶解到电解质中。直接连接热蒸发器，无需破坏真空即可依次沉积金属（如锂阳极）。
促进全固态薄膜电池的制造
主要关键词
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