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纳米制造实验室材料研究所 Nanofab 为来自学术界、工业界和联邦研究实验室的研究人员提供最先进的纳米制造能力和专业知识。Nanofab 是一个 15,000 平方英尺的洁净室（1000/100 级）和高质量的支持空间，它能够在大多数工具上处理最大 200 毫米晶圆的小部件。Nanofab 的员工除了拥有纳米制造专业知识外，还在凝聚态物理、化学、X 射线物理、光学和磁学方面拥有丰富的经验，为用户社区提供了广泛的知识基础。Nanofab 在开发压电和铁电材料、MEMS 设备、异质集成和玻璃封装方面拥有数十年的经验。该设施长期以来一直向本科生和研究生教授半导体工艺，并且与业界密切合作，开发与技术转让兼容的工艺。我们目前正在与许多半导体公司和初创公司合作，利用我们在材料合成、集成和纳米制造方面的专业知识。
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