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采用，建立例如对量子比特相干性 [ 3 , 4 ] 和谐振器质量 [ 5 , 6 ] 的限制。主要损耗机制之一是表面介电损耗，形式为微观两级缺陷，在超导量子器件的基板-金属和金属-空气界面中普遍存在 [ 7 ]。在减少表面介电损耗的策略中，氮基超导体（例如 NbN、TiN 或 NbTiN）在过去十年中引起了超导电路量子计算界的极大兴趣，尤其是作为构建谐振器和量子比特电容器的材料 [ 8 – 13 ]。人们认为，超导薄膜表面和内部氮的存在有助于降低两能级系统缺陷的影响，而
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