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图 1. 制造过程示意图。(a)PMP 制备过程和样品照片,白色箭头指向 PMP。(b)固定在 3D 打印支撑框架上的 Metal-FPI 上的聚对二甲苯沉积。插图显示了聚对二甲苯封装的普遍特征。(c)PMP 的 SEM 横截面以及相关的 EDS 映射。
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