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超声波能量被广泛用于微电子包装的线键合中。有必要确保最大的超声振动位移发生在粘合工具（毛细管）的尖端或附近，以获得最佳性能。在这项研究中，使用激光干涉仪用载荷测量沿毛细管的超声振动的振幅。这为理解和改善毛细血管性能提供了宝贵的信息。该方法应用于实时应用，以优化针对特定键合应用的毛细管设计和粘结过程。首先，评估了与不同的氧化锆成分的新毛细血管材料的应用。具有一定量的氧化锆成分的新材料表明，它是超细节粘结的首选毛细血管材料。接下来，进行了比较分析，以研究新的“ Slimline”瓶颈和常规瓶颈的超声能量转移。使用相同的键合参数，模制的Slimline瓶颈的实际键合响应与地面常规瓶颈表现出了可比的性能。最后，在电线螺栓上进行了60 m m键 - 盖式过程的优化。在优化的参数范围内，监测毛细管的超声位移。对于粘结力和键功率的所有可能组合，毛细管的超声位移随着键功率的增加而增加，而不会导致粘结力变化引起的急剧变化。这表明所选的过程窗口位于稳定区域。Q 2005 Elsevier Ltd.保留所有权利。Q 2005 Elsevier Ltd.保留所有权利。
调查了丝线毛细管的超声振动
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