图1。各种石墨烯纳米力学谐振器。(a)双重夹紧谐振器。(b)完全夹紧的谐振器。(c)带有通向通道的完全夹紧谐振器。(d)使用SU-8聚合物的其他层完全夹紧谐振器。(e)蹦床形的谐振器。(f)H形谐振器。(g)单独夹紧谐振器。(h)三个双重夹紧的谐振器串联。(i)哑铃形的谐振器,中间有一个排气通道。(J)大量的鼓声谐振器。(k)语音晶体通过将悬浮的石墨烯膜变成周期性图案。(l)语音晶体将石墨烯薄片转移到预制的立柱阵列中。(a)经许可复制。[19] 2011年版权所有,施普林格。(b)经许可复制。[57]版权所有2018,美国化学学会。(c)根据创意共享CC-BY国际许可证的条款复制。[61]版权所有2020年,作者,由Springer Nature出版。(d)经许可复制。[26]版权所有2013,施普林格。(e)根据创意共享CC-BY国际许可证的条款复制。[64]版权所有2019,作者,由施普林格自然出版。(f)经许可复制。[65]版权所有2015,美国化学学会。(g)经许可复制。[66]版权所有2012,施普林格。(h)根据创意共享CC-By International许可证的条款复制。[23]版权所有,作者,由美国国家科学院出版。(i)根据创意共享CC-NC-ND国际许可证的条款复制。[67]版权所有2021,作者,由美国化学学会出版。(J)经许可复制。[68]版权所有2011,施普林格。(k)根据创意共享CC-BY国际许可证的条款复制。[35]版权所有2021,作者,由美国化学学会出版。(l)经许可复制。[36]版权所有2021,美国化学学会。