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长期存在的更大计算能力的探索已经存在。自1960年代以来，现代电脑中的晶体管一直遵循摩尔定律。然而，随着硅晶体管继续扩大规模，它们面临挑战，例如由于有限的亚阈值挥杆，与高温操作不兼容以及缺乏可重新选择性，诸如州外泄漏功率的增加。因此，正在研究新型的计算设备以解决这些问题。随着微型/纳米制作技术的进步，Me-Chanical计算已成为晶体管的有前途的替代品，具有通过利用自由dom的机械性程度来利用超级功耗，高温兼容性和可构性的优势。尤其是微型/纳米机电系统（MEMS/NEMS）技术现在正在积极探索以实现未来的计算设备。可以根据其操作方式（图1）：联系人（主要是开关/继电器）和非接触模式（通常是谐振器），我们可以在下面进行更详细的讨论。基于MEMS/NEMS开关/继电器的机械计算。MEMS开关已经研究了数十年。多年来，已经对具有不同驾驶机制的MEM/NEM开关的不同设计进行了启发[1]，静电MEMS/NEMS开关受到了最广泛的探索。静电内存和NEM开关通常包含可移动电极（梁或膜）和静态反电极，并由小空气或真空间隔隔开。在OFF状态下，这种物理分离可确保零泄漏电流。除了接近零泄漏电流和突然开关外，NEM开关对苛刻的环境具有比金属氧化物 - 氧化型局部效果（MOSFET）更具抵抗力。基于这些SIC NEMS开关的SIC纳米线开关和逻辑逆变器可以可靠地函数可靠地函数，而MOSFET会失败
纳米力学：未来计算的新兴机会
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