机构名称：
¥ 1.0
• 独特的破裂算法，比传统的信号导数更强大 • 用于 EPD 处理的大量高级算法 • 一键式概念，轻松生成算法 • 可扩展平台（单腔或集群工具） • 快速配方配置，实现强大的端点创建 • 高级设备控制 (AEC) / 过程控制 (APC) (wafer2wafer、Run2Run、Lot2Lot、Clean2Clean) • SQL 数据库，方便进行数据比较和解释 • 不同的用户级别 • 再处理功能以验证过程（EPD） • 统计工具 • 灵活的工具远程连接
光发射光谱传感器终点检测解决方案
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