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PVD 镀铜过滤器专门用于 LAM 的先进 Cu SO4 电镀工具，用于大马士革和 TSV 工艺。电化学电镀槽化学试剂安装有 10 英寸筒式 ECP 过滤器。我们的 LiquiPro™ CO 系列专为去除细小颗粒而设计，可在硫酸铜电镀溶液中实现电镀一致性。亲水性 PTFE 膜可与多种电镀添加剂配合使用，并消除导致电镀缺陷的问题。该工具还具有单阳极室 (SAC)，其中安装有 5 英寸一次性过滤器。我们的 LiquiPro™ SL 过滤器适用于此目的。
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