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一般振动评估 当实验室处理微纳米技术时,振动监测至关重要,以确保以最高的精度和可靠性实现最佳制造工艺。振动由多种来源产生,包括地面的弱地震运动、机械、结构和其他来源(图 1)。在实验室的设计阶段,通常会进行特定的建模,以分析并将其与外部振动源隔离。一个关键方面是从一开始就使用特定的材料和施工技术来摊销地面振动,由于相关成本非常高,很少在施工后实施。然而,正如前面提到的,它并不是唯一需要解决的振动,也来自内部来源。为了检测和减轻所有这些振动,需要进行监测,分析全频谱并隔离相关频率。在隔离阶段之后,下一步是与 VC 曲线相关的实验室评估,以符合特定仪器在可接受的振动噪声基底方面的要求。

使用振动标准 - VC 曲线进行用例实验室评估

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