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金属前驱体脉冲在等离子体中的反应机理
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金属前驱体脉冲在等离子体中的反应机理

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a 爱尔兰科克大学廷德尔国立研究所，Lee Maltings，Dyke Parade，科克，T12 R5CP，爱尔兰 b 复旦大学微电子学院、上海智能电子技术与系统研究所、专用集成电路与系统国家重点实验室，上海 200433，中国

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