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¥ 1.0
结果表明，为了解决上述问题，建议使用 MICROTERM 软件套件，该软件套件是基于有限元方法 (FEM) 的微电子产品、固态电子学、纳米和微系统技术教育和设计 CAD 系统的一部分。该软件包包括初始信息的输入和准备、计算域内有限元网格的自动生成、有限元网格的可视化、有限元网格节点处所需值的计算、计算结果的处理、分析和输出等模块。有限元软件包的有效性很大程度上取决于其中所使用的有限元的类型。由于在解决微电子结构温度场计算问题时，必须解决在复杂几何区域寻找解决方案的问题，因此优先考虑体积矩形和曲线四面体和六面体
热过程数值模拟方法
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