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mems已被确定为21世纪最有前途的技术之一，并有可能通过将基于硅的微电子与微加工技术相结合，从而彻底改变工业和消费产品。其技术和基于微系统的设备有可能极大地影响我们的生活和生活方式。微电动机械系统或MEMS是一种技术，可以将其最通用的形式定义为微型机械和电力机械元素（即设备和结构），这些元素（即设备和结构）是使用微型制造技术制成的，用于创建结合机械和电气组合物的微型集成设备或电气组合物。它们是使用集成电路（IC）批处理处理技术制造的。尺寸尺寸范围很少毫米与毫米。
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