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使用与SEM的EDS使用EDS的元素鉴定元素分析提供了与陶瓷材料结构相关的材料信息。可以评估过程，以优化所需的机械性能和产品性能的最佳组成。可以在某个点，一条线或区域上完成。该数据可用于陶瓷研究和开发中，以通过多孔陶瓷来绘制纳米颗粒扩散，以鉴定陶瓷表面上的第二阶段（图6）或分析团聚或污染。EDS图可以将相形态与陶瓷材料的组成相关联。
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