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新的EQP系列包含一系列高性能四极分析仪，适合各种等离子体分析任务。具有6 mm四极杆直径的EQP-6，质量范围为300和510 AMU，并基于Hiden Triple Filter Analyzer。EQP-9提供了最广泛的质量范围选择，用于高稳定性和质量传播。提供的范围是50、300、510、1000和5000 AMU。顶级范围是旗舰EQP-20，配备了行业前20毫米杆直径四极杆和独特的可切换双RF区域模式。EQP-20设计用于超高的质量分辨率实验，例如HE和D 2分开，以及最高200 AMU的超高稳定性分析。能量范围为100 eV作为标准，1000 eV是可选的。
用于薄膜，等离子体和表面工程
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