微电动机械系统（MEMS）是与用于在微观设备上制造纳米和芯片系统的技术有关的跨学科领域。MEMS设备和系统嵌入了电气，机械，化学和混合机制，以实现各种应用的设备和系统，例如物理传感器，生物医学系统和复杂的多功能纳米微型系统。mems结合了许多学科的专业知识，包括但不限于工程，生物学，化学，信息学，医学和物理学的所有领域。典型的MEMS设备结合感应，处理和/或致动功能。它们通常结合两个或多个或多个电气，机械，机械，生物学，磁性，光学，光学，光学奇质的单个Micmorochip。