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集中器光伏的三个结构互连模块
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集中器光伏的三个结构互连模块

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图5（a）显微镜顶视图在左键的发射极接触与右键的基本接触之间的互连。可以通过Su-8填充材料看到奇异的沟槽和基本前接触。（b）扫描电子显微镜倾斜的铝互连视图，该视图沉积在Su-8

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