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•此外,高度穿透离子允许在一次曝光中背靠背放置的多个板进行测试。通过将降解器定位在板之间,可以获得不同的莱特,并且可以在一个或两个梁暴露中表征多个零件的样本。此方法减少了光束的使用时间,并使重离子测量在NSRL
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