机构名称：
¥ 2.0
•此外，高度穿透离子允许在一次曝光中背靠背放置的多个板进行测试。通过将降解器定位在板之间，可以获得不同的莱特，并且可以在一个或两个梁暴露中表征多个零件的样本。此方法减少了光束的使用时间，并使重离子测量在NSRL
能量重离子请参见保证
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