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第三阶段将是最终层中掺杂水平的控制,该阶段针对N型,绝对浓度约为10 16 cm -3,代表低相对原子浓度的低相对原子浓度,为100 ppb。GAN材料(<10 ppb)所需的纯度水平以及对N型植物的控制,在2000年代已经在蓝宝石底物上证明,但据我们所知,在硅底物上却没有证明。

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