微机电系统 (MEMS) 技术前景广阔，引起了学术界、实验室、政府和商业领域的极大兴趣。这种兴趣主要集中在使用传统硅处理技术和设备制造的微尺度设备的潜在性能和成本优势上。虽然到 2000 年，微机械设备的市场规模预计将达到每年 101 亿至 142 亿美元，但当前和预测的市场非常细分。这种细分现象也适用于微机械加速度计和陀螺仪市场。高效和 * Sandia 是由 Sandia 公司（洛克希德马丁公司）为美国能源部根据合同 DE-AC04-94AL85000 运营的多程序实验室。^ BRD（通信）：电子邮件：brdavie@sandia.gov；电话：(505) 844-5600 MSR（通信）：电子邮件：rodgersm@sandia.gov；电话：(505) 844-1784 SM（通信）：电子邮件：montags@sandia.gov；电话：(505) 844-6954